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Powder · Coreshell
iPV MX10

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작성자 관리자 작성일22-05-26 13:53 조회531회
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iPV MX10
• Powder ALD
• Powder loading vol.: 10L x 3Chamber
• Process temperature Max.< 300℃
• 2 sets of metal organic precusor delivery lines
• Single special gas reactant delivery lines.
• PLC base control
• Automated Reactor handing
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