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Semiconductor · LED

iOV MX12

페이지 정보

작성자 관리자 작성일24-02-14 14:19 조회293회

본문

     iOV MX12


      • (PE) ALD Cluster system

      • Reactor size : 12” 4 Slot Cluster

      • Shower head type

      • Substrate shape : wafer

      • Process temperature Max.< 320℃

      • 2 sets of metal organic precursor delivery lines

      • O3 reactant gas delivery line.

      • Rotational Susceptor

      • PC base control (iSAC iOV Control Pro TM)

      • Automated wafer handling system