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Semiconductor · LED

iOV MX8

페이지 정보

작성자 관리자 작성일22-08-22 15:26 조회776회

본문

     iOV MX8 

 

      • (PE) ALD Cluster system

      • Reactor size : 8” 4 Slot Cluster

      • Showerhead type

      • Substrate shape : wafer

      • Process temperature Max.< 320℃

      • 2 sets of metal organic precusor delivery lines

      • O3 reactant gas delivery line.

      • Rotational Susceptor

      • PC base control (iSAC iOV Control Pro TM)

      • Automated wafer handling system