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Semiconductor · LED
iOV MX4

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작성자 관리자 작성일22-06-15 08:53 조회742회
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iOV MX4
• (PE) ALD Cluster system
• Reactor size : 4” 5 Slot Cluster
• Substrate shape : wafer
• Process temperature Max.< 320℃
• Single precusor delivery line (ARS Base).
• O₃ reactant gas delivery line.
• Rotational Susceptor
• PC base control (iSAC iOV Control Pro TM)
• Automated wafer handing
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