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Semiconductor · LED

iOV MX4

페이지 정보

작성자 관리자 작성일22-06-15 08:53 조회791회

본문

    iOV MX4 


      • (PE) ALD Cluster system
      • Reactor size : 4” 5 Slot Cluster
      • Substrate shape : wafer
      • Process temperature Max.< 320℃
      • Single precusor delivery line (ARS Base).
      • O3 reactant gas delivery line.
      • Rotational Susceptor
      • PC base control (iSAC iOV Control Pro TM)
      • Automated wafer handing