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Semiconductor · LED

iOV EX2

페이지 정보

작성자 관리자 작성일22-05-26 13:38 조회627회

본문

      iOV EX2

 

      • (PE) ALD Cluster system

      • Reactor size : 8”, 12”

      • Showhead type

      • Substrate shape : wafer

      • Process temperature

        (SUS Heater) Max.< 500℃,

        (AlN Heater) Max.< 700℃

      • Up to 3 sets of metal organic precursor delivery lines

      • Up to 1 set of liquid reactant delivery lines

      • Up to 4 sets of special gas reactant delivery lines.

      • PC base control (iSAC iOV Control Pro TM)

      • Automated wafer handling system