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Semiconductor · LED

iOV DX3

페이지 정보

작성자 관리자 작성일22-05-26 13:34 조회140회

본문

     iOV DX3

 

      • (PE) ALD system 
       Reactor size : 4", 6", 8", 12" 
       Substrate shape : wafer or rectangular glass 
       Process temperature Max.< 500℃ 
       3 sets of metal organic precusor delivery lines 
       1 set of liquid reactant delivery lines 
       Up to 4 sets of special gas reactant delivery lines. 
       PC base control (iSAC iOV Control Pro TM) 
       Automated wafer handing w/LCC